特許

J-GLOBAL ID：200903085769549430

タッチ信号プローブ

発明者： 松木 薫 ,  日高 和彦
出願人/特許権者： 株式会社ミツトヨ
代理人 (1件)： 木下 實三 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-226943
公開番号（公開出願番号）：特開2000-055607
出願日： 1998年08月11日
公開日（公表日）： 2000年02月25日
要約：

【要約】【課題】近接覚現象を回避して正確な測定を行えるとともに、他の検知手段を用いることなく被測定物の位置を非接触で正確に認識できるタッチ信号プローブの提供。【解決手段】スタイラスホルダ2に支持され接触部3Bを有するスタイラス3と、スタイラス3を共振させる加振手段4Aと、この振動の変化を検出する検出手段4Bと、スタイラス3の共振のQ値を制御するQ値制御手段7とを備える。Q値制御手段7は、スタイラス3の共振のQ値を高く維持してスタイラス3の振動に伴って接触部3Bから発せられた振動波が被測定物から反射してスタイラス3の振動に影響を及ぼした状態を検出する高Q値モードと、接触部3Bから発せられた振動波が被測定物から反射してスタイラス3の振動に及ぼす影響を無視できる程度まで共振のQ値を低下させる低Q値モードとを切り換える。

請求項（抜粋）：

支持部に固定されるスタイラスホルダと、このスタイラスホルダに支持されるとともに先端に被測定物と接触する接触部を有するスタイラスと、このスタイラスを共振させる加振手段と、前記接触部が被測定物と接触するに際して生じる振動の変化を検出する検出手段と、前記スタイラスの共振のQ値を制御するQ値制御手段とを備え、このQ値制御手段は、前記接触部の被測定物への非接触時において前記スタイラスの共振のQ値を高く維持して前記スタイラスの振動に伴って前記接触部から発せられた振動波が被測定物から反射して前記スタイラスの振動に影響を及ぼした状態を前記検出手段で検出する高Q値モードと、前記スタイラスの振動に伴って前記接触部から発せられた振動波が被測定物から反射して前記スタイラスの振動に及ぼす影響を無視できる程度まで前記スタイラスの共振のQ値を低下させる低Q値モードとを切り換えることを特徴とするタッチ信号プローブ。

IPC (3件)：

G01B 7/00 ,  G01B 21/00 ,  G01B 21/20

FI (3件)：

G01B 7/00 S ,  G01B 21/00 B ,  G01B 21/20 P

Fターム (28件)：

2F063AA02 ,  2F063AA04 ,  2F063AA14 ,  2F063AA41 ,  2F063CA09 ,  2F063CA28 ,  2F063EB02 ,  2F063EB12 ,  2F063EC00 ,  2F063GA29 ,  2F063JA01 ,  2F063LA05 ,  2F063LA06 ,  2F069AA02 ,  2F069AA04 ,  2F069AA42 ,  2F069AA61 ,  2F069DD06 ,  2F069DD19 ,  2F069GG01 ,  2F069GG62 ,  2F069HH01 ,  2F069JJ06 ,  2F069JJ07 ,  2F069JJ08 ,  2F069LL02 ,  2F069MM04 ,  2F069MM32