特許

J-GLOBAL ID：200903085774550020

照明装置及びそれを用いた露光装置

発明者： 辻 俊彦
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 高梨 幸雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-099074
公開番号（公開出願番号）：特開2001-284237
出願日： 2000年03月31日
公開日（公表日）： 2001年10月12日
要約：

【要約】【課題】被照射面を照明光束の有効利用を図りつつ、均一に照明することができ、半導体デバイスの製造に好適な照明装置及びそれを用いた露光装置を得ること。【解決手段】光源からの光を用いて複数の2次光源を形成する多光束発生手段と、該多光束発生手段によって形成された各2次光源からの光を被照射面上で重畳させる照射手段とを有する照明装置であって、前記多光束発生手段は回折光学素子を備え、該回折光学素子で回折された回折光のうち0次回折光の少なくとも一部を除去するためのフィルター手段を設けたこと。

請求項（抜粋）：

光源からの光を用いて複数の2次光源を形成する多光束発生手段と、該多光束発生手段によって形成された各2次光源からの光を被照射面上で重畳させる照射手段とを有する照明装置であって、前記多光束発生手段は回折光学素子を備え、該回折光学素子で回折された回折光のうち0次回折光の少なくとも一部を除去するためのフィルター手段を設けたことを特徴とする照明装置。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ,  G02B 19/00 ,  G03F 7/22

FI (4件)：

G02B 19/00 ,  G03F 7/22 H ,  H01L 21/30 527 ,  H01L 21/30 515 D

Fターム (12件)：

2H052BA02 ,  2H052BA09 ,  2H052BA12 ,  5F046BA03 ,  5F046CA07 ,  5F046CB01 ,  5F046CB05 ,  5F046CB08 ,  5F046CB10 ,  5F046CB12 ,  5F046CB13 ,  5F046CB23