特許
J-GLOBAL ID：200903085781277399
磁気抵抗効果素子を有する基板及びその製造方法、ならびに前記基板の加工方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
野▲崎▼ 照夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-373312
公開番号（公開出願番号）：特開2000-195020
出願日： 1998年12月28日
公開日（公表日）： 2000年07月14日
要約：
【要約】【課題】 基板上の複数のモニター素子の多層膜が、磁気抵抗効果素子の多層膜と同じ大きさで形成される場合、各モニター素子の多層膜を削って、各モニター素子の直流抵抗をすべて同じ値に設定しようとすると、モニター素子の多層膜の断面積が小さいために、研削加工の際の直流抵抗値の変化量が大きく、よって各モニター素子の直流抵抗値を全て同じ値に設定しづらいといった問題があった。【解決手段】 モニター素子22の多層膜31を、トラック幅Twで形成された第1の領域31bと、トラック幅Twよりも大きい幅寸法T1で形成された第2の領域とで構成し、前記多層膜31の先端を、磁気抵抗効果素子21の多層膜29の先端よりも加工面方向に延ばして形成することにより、前記多層膜31の断面積は大きくなり、従って各モニター素子22の直流抵抗値をすべて同じ値に設定しやすくなる。
請求項（抜粋）：
加工面を有する基板上に、磁気抵抗効果を発揮する多層膜及び、前記多層膜の両側で前記多層膜に導通する電極層を有する磁気抵抗効果素子と、前記磁気抵抗効果素子と実質的に同じ構成の加工用のモニター素子とが、それぞれ複数個並んで配置されており、前記加工面を各素子の前方とした場合に、前記モニター素子を構成する多層膜の後端と、磁気抵抗効果素子を構成する多層膜の後端とがトラック幅方向にて一致しており、且つ前記モニター素子を構成する多層膜及び電極層が、磁気抵抗効果素子の多層膜及び電極層よりも加工面方向に延びて形成されていることを特徴とする磁気抵抗効果素子を有する基板。
Fターム (5件)：
5D034BA02
, 5D034BA09
, 5D034CA00
, 5D034DA02
, 5D034DA07
