特許

J-GLOBAL ID：200903085781748634

研磨装置及び研磨部材

発明者： 石川 彰 ,  千賀 達也
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-233619
公開番号（公開出願番号）：特開2001-054859
出願日： 1999年08月20日
公開日（公表日）： 2001年02月27日
要約：

【要約】【課題】 従来のCMP用研磨装置は、研磨体が粘着材により研磨定盤に張り付けられる構造となっている。研磨定盤への張り付けに際しては、研磨体がしわにならないように注意が必要であり、張り付け作業は、熟練を要するという問題があった。本発明は粘着材を用いないで研磨体を研磨定盤に固定する機能を有する研磨装置及び研磨部材を提供する。【解決手段】 本発明に係る研磨装置において、研磨体が研磨体支持体に直接形成され、研磨定盤が研磨体支持体を着脱する固定機構を有することにより、粘着材を用いることなく、研磨体を研磨定盤に固定できる研磨装置及び研磨部材を提供できる。

請求項（抜粋）：

研磨部材と研磨対象物の間に研磨剤を介在させた状態で、該研磨部材と該研磨対象物を相対移動させることにより、前記研磨対象物を研磨する研磨装置において、前記研磨部材は、研磨体と、該研磨体が直接形成されている研磨体支持体と、該研磨体支持体を着脱する固定機構を備えている研磨定盤と、を有することを特徴とする研磨装置。

IPC (2件)：

B24B 37/04 ,  H01L 21/304 622

FI (2件)：

B24B 37/04 A ,  H01L 21/304 622 F

Fターム (7件)：

3C058AA01 ,  3C058AA09 ,  3C058AA14 ,  3C058CB03 ,  3C058CB04 ,  3C058CB05 ,  3C058DA17