特許
J-GLOBAL ID：200903085782432274
画像処理による欠陥検出方法および装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
上代 哲司 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-256298
公開番号（公開出願番号）：特開平11-094763
出願日： 1997年09月22日
公開日（公表日）： 1999年04月09日
要約：
【要約】【課題】 被検査物の計測対象面における真の欠陥とゴミ等の付着物を識別する非接触の計測手段を提案すると共に、検査データの処理工程を自動化して目視による非効率な検査工程を排除する。【解決手段】 被検査物1とCCDカメラ4の間に半透明のミラー6を置き、照明手段5から落射照明5bにて計測対象面1aを照射し、前記CCDカメラ4にて撮像した画像を演算装置7に入力すると共に記憶装置8に保存した後、前記計測対象面1aを清掃手段9にて清掃し、再度、CCDカメラ4にて撮像した画像と記憶装置8に保存されている画像が合致すれば、真の欠陥と判断する画像処理による欠陥検出方法と装置。
請求項（抜粋）：
被検査物とCCDカメラの間に半透明のミラーを置き、前記ミラーに入射する光を落射照明として計測対象面を照射して、前記計測対象面全域の単位計測範囲の、前記CCDカメラで撮像した画像の明度を2値化しながらX-Y座標面上を走査して演算装置に入力し、予め定めた閾値以下の明度を1次欠陥と認識し、その位置と形状を記憶装置に保存した後、前記計測対象面を清掃して、再度、前記CCDカメラで撮像した時、記憶装置に保存された1次欠陥の画像のX-Y座標面上の位置と形態が2次欠陥と認識する画像と比較して、両者が合致する画像を真の欠陥と認識することを特徴とする画像処理による欠陥検出方法。
IPC (4件)：
G01N 21/88
, G01B 11/30
, H01L 21/60 311
, H05K 3/34 512
G01N 21/88 G
, G01B 11/30 G
, H01L 21/60 311 T
, H05K 3/34 512 A
