特許
J-GLOBAL ID:200903085785924682

加速度角速度センサ

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 長谷川 芳樹 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-132423
公開番号(公開出願番号):特開平10-318755
出願日: 1997年05月22日
公開日(公表日): 1998年12月04日
要約:
【要約】【課題】 単一の振動子で角速度および互いに直交する2方向の加速度を検出する加速度角速度センサを提供すること。【解決手段】 振動子と、振動子を励振する励振手段と、振動子の振動を検出する検出手段とを備えた加速度角速度センサであって、振動子は、XYZ三次元直交座標空間においてY方向に延びる四角柱形状の第1振動片と、この第1振動片と同一形状であって第1振動片と平行に並んで配置された第2振動片と、XY平面上で第1振動片と第2振動片とを連結する振動子基体とを有し、励振手段は第1振動片および第2振動片をX方向に互いに逆相で振動させるものであり、検出手段は、第1および第2振動片のそれぞれのZ方向およびX方向の振動を検出し、第1および第2振動片のZ方向振動の差からY軸周りの角速度を検出し、第1および第2振動片のZ方向振動の和からZ方向の加速度を検出し、第1および第2振動片のX方向振動の和からX方向の加速度を検出するものであることを特徴とする。
請求項(抜粋):
振動子と、前記振動子を励振する励振手段と、前記振動子の振動を検出する検出手段とを備え、前記振動子は、XYZ三次元直交座標空間においてY方向に延びる四角柱形状の第1振動片と、この第1振動片と同一形状であってXY平面上で第1振動片と平行に並んで配置された第2振動片と、この第1振動片と第2振動片とを連結する振動子基体とを有し、前記励振手段は前記第1振動片および第2振動片をX方向に互いに逆相で振動させるものであり、前記検出手段は、前記第1および第2振動片のそれぞれのZ方向およびX方向の振動を検出し、前記第1および第2振動片のZ方向振動の差からY軸周りの角速度を検出し、前記第1および第2振動片のZ方向振動の和からZ方向の加速度を検出し、前記第1および第2振動片のX方向振動の和からX方向の加速度を検出するものであることを特徴とする加速度角速度センサ。
IPC (3件):
G01C 19/56 ,  G01P 9/04 ,  G01P 15/00
FI (3件):
G01C 19/56 ,  G01P 9/04 ,  G01P 15/00 Z
引用特許:
審査官引用 (4件)
  • 特開昭62-093668
  • 特開平3-144308
  • 特開昭62-093668
全件表示

前のページに戻る