基板洗浄装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：吉田茂明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-035632
公開番号（公開出願番号）：特開平7-241534
出願日： 1994年03月07日
公開日（公表日）： 1995年09月19日
要約：

【要約】【目的】コンパクトな構成で処理タクトを長くすることなくブラシによって基板表面を良好に洗浄することが可能な基板洗浄装置を提供する。【構成】複数の搬送ローラ1が方向Xに連設されて各コンベア部1F,1Rが形成される。搬送ローラ1には正逆回転可能な駆動部が連結され、その駆動部からの駆動力に応じて正回転(あるいは逆回転)して基板Wが矢印方向(水平方向)Xに往復搬送される。コンベア部1F,1Rの間にブラシ洗浄部2が配設される。このブラシ洗浄部2では、基板Wの搬送経路に沿って上方側にブラシ24が、また下方側にブラシ25がそれぞれ配置される。このため、往復搬送されている間、基板Wの上面がブラシ24により洗浄されるとともに、下面がブラシ25により洗浄される。

請求項（抜粋）：

ブラシを基板表面に押し当てて基板表面を洗浄する基板洗浄装置において、基板を水平に保持しつつ、水平方向に往復搬送させる基板搬送手段と、前記基板の往復搬送経路上の所定位置で、前記基板搬送手段によって往復搬送させられる基板の表面に接触し、該基板の表面を洗浄するブラシを有するブラシ洗浄手段と、を備えたことを特徴とする基板洗浄装置。

IPC (4件)：

B08B 1/02 , G03F 1/08 , H01L 21/304 341 , H01L 21/304

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開平1-140727
特開昭54-103270
特開昭48-036966

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