特許
J-GLOBAL ID：200903085790716850
光誘導構造体の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
矢野 敏雄 (外3名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-542056
公開番号（公開出願番号）：特表2001-518206
出願日： 1997年11月17日
公開日（公表日）： 2001年10月09日
要約：
【要約】シリコンにマイクロレンズを製造する方法を提案する。該方法では、先駆体ラッカー構造体を製造し、該構造体を次いで溶剤雰囲気内で熱を作用させるて、該構造が所望のレンズ形を形成するまで流れさせる。
請求項（抜粋）：
基板(1)、特に集積光学構成部材上に放射線誘導光学素子を製造する方法において、以下の工程: a)感光性ラッカー層(4)を基板(1)上に塗布する、 b)感光性ラッカー層(4)を硬化させる、 c)感光性ラッカー層(4)を、ラッカー構造体(6)が生じるように、所定の領域まで剥離する、 e)溶剤を富化させた雰囲気内で熱処理することによりラッカー構造体(6)を軟化させる、 f)ラッカー構造体(6)を乾燥させる からなることを特徴とする、放射誘導光学素子の製造方法。
IPC (2件)：
FI (3件)：
G02B 3/00 A
, G02B 3/00 Z
, B29D 11/00
