特許

J-GLOBAL ID：200903085795490729

欠陥判定処理方法およびその装置

発明者： 山村 久恵 ,  松山 幸雄 ,  本田 敏文 ,  ルードヴィッヒ リストゥル
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所 ,  シーメンス・アクチエンゲゼルシャフト
代理人 (1件)： 高橋 明夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-298713
公開番号（公開出願番号）：特開平10-143660
出願日： 1996年11月11日
公開日（公表日）： 1998年05月29日
要約：

【要約】【課題】本課題は、各検査ウィンドウによって切り出された検出画像に対して画像処理パラメータおよび欠陥判定パラメータの最適化をはかって良品虚報または欠陥見逃しをなくして高信頼度の欠陥判定ができるようにした欠陥判定処理方法およびその装置を提供することにある。【解決手段】本発明は、検出された画像に対して予め指定された複数の検査ウィンドウが示す範囲について画像データ生成手段5により切り出して記憶手段6に記憶し、前記複数の検査ウィンドウの各々に対してウィンドウデータ生成手段7により検査条件を付加したウィンドウデータを生成して記憶手段6に記憶し、前記記憶手段6から各検査ウィンドウが示す範囲の検出画像を読出して特徴抽出部41において各ウィンドウデータによって得られる検査条件に適合する画像処理パラメータ61に基づいて構造的特徴パラメータ56を抽出し、この抽出された構造的特徴パラメータに対して欠陥判定部42において前記検査条件に適合する欠陥判定パラメータ62に基づいて欠陥判定することを特徴とする。

請求項（抜粋）：

被検査対象物の画像を画像検出手段により検出し、この検出された画像に対して予め指定された複数の検査ウィンドウが示す範囲について画像データ生成手段により切り出して記憶手段に記憶し、前記複数の検査ウィンドウの各々に対してウィンドウデータ生成手段により検査条件を付加したウィンドウデータを生成して記憶手段に記憶し、前記記憶手段から各検査ウィンドウが示す範囲の検出画像を読出して特徴抽出部において前記記憶手段に記憶された前記各検査ウィンドウに対応する各ウィンドウデータを読出して該各ウィンドウデータによって得られる検査条件に適合する画像処理パラメータに基づいて構造的特徴パラメータを抽出し、この抽出された構造的特徴パラメータに対して欠陥判定部において前記検査条件に適合する欠陥判定パラメータに基づいて欠陥判定することを特徴とする欠陥判定処理方法。

IPC (3件)：

G06T 7/00 ,  G01B 11/24 ,  G01N 21/88

FI (4件)：

G06F 15/70 330 N ,  G01B 11/24 K ,  G01N 21/88 J ,  G06F 15/62 405 A