特許
J-GLOBAL ID：200903085803648221
マイクロアクチュエータ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
上野 英夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-239230
公開番号（公開出願番号）：特開平8-114278
出願日： 1995年08月24日
公開日（公表日）： 1996年05月07日
要約：
【要約】【課題】断熱構造を備えるマイクロアクチュエータ。【解決手段】フローチャネルを介して運搬される流体流を制御する超小型バルブの形態をなすマイクロアクチュエータであり、サーマルアクチュエータによって選択的に駆動される熱駆動部材を有し、これが駆動されることによって熱エネルギを生成する第1基板と、対向する第1、第2主要面を有する第2基板よりなる。第2基板が第1主要面で第1基板に取付けられる。第2の主要面は第2基板が支持体に取付られると絶縁セルを画定し、これによってマイクロアクチュエータの熱容量を減少させ、第1基板を支持体から熱遮断する。
請求項（抜粋）：
支持体に取付可能な熱駆動マイクロアクチュエータにおいて、サーマルアクチュエータによって選択的に操作される熱駆動部材を有し、熱エネルギをその中において生成する第1の基板と、対向する第1および第2主要面を有し、前記第1主要面は前記第1基板に取付けられ、前記第2主要面は支持体に取付られる第2の基板とを具備し、前記第2の主要面は前記第2の基板が前記支持体に取付けられるとき、体積を封入する絶縁セルを画定し、これにより、前記マイクロアクチュエータの熱容量を減少させ、前記第1の基板内に生じた熱エネルギを断熱することを特徴とするマイクロアクチュエータ。
IPC (3件)：
F16K 31/66
, G05D 7/03
, H01L 21/306
