風速センサ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：五十嵐清
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-063504
公開番号（公開出願番号）：特開平6-249864
出願日： 1993年02月25日
公開日（公表日）： 1994年09月09日
要約：

【要約】【目的】風速検知用センサから温度補償用センサに熱が殆ど伝達することなく、かつ、環境温度が変化しても、精度よく風速を検知できる風速センサを提供する。【構成】同一セラミック基板10の一端側に風速検知センサRHを、他端側に温度補償用センサRTを白金材料の印刷又は蒸着によって直接形成する。また、両センサRH,RT間のセラミック基板10面に印刷又は蒸着によってハイブリッドICの信号回路部20を直接形成する。

請求項（抜粋）：

同一セラミック基板の一端側に風速検知用センサを、他端側に温度補償用センサをそれぞれ抵抗素子材料の印刷又は蒸着によってセラミック基板上に直接形成し、両センサ間のセラミック基板面にはハイブリッドICの信号回路部が直接形成されている風速センサ。

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