特許
J-GLOBAL ID：200903085809108610
水晶振動片及び水晶振動片の製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
上柳 雅誉
, 須澤 修
, 宮坂 一彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-312060
公開番号（公開出願番号）：特開2009-135856
出願日： 2007年12月03日
公開日（公表日）： 2009年06月18日
要約：
【課題】外形サイズが小型化されても、振動部の面積を充分に確保できる水晶振動片の提供。【解決手段】一方の主面11に、エッチングにより凹部12が形成され、凹部12の底面12aを振動部13とし、振動部13の周囲を囲む枠部14が形成されている水晶振動片1であって、一方の主面11が、Y’軸のマイナス側を向いた主面であるとき、枠部14が、振動部13よりZ’軸のプラス側でX軸方向に沿って形成された第1の辺部14aと、振動部13よりZ’軸のマイナス側でX軸方向に沿って形成された第4の辺部14dと、振動部13を挟んで対向するようにZ’軸方向に沿って形成され、それぞれ一端が第1の辺部14aに接続され他端が第4の辺部14dに接続された第2の辺部14b及び第3の辺部14cと、を含んで構成され、枠部14の第1の辺部14aのY’軸方向の厚みが、少なくとも他の3つの辺部のいずれか1つのY’軸方向の厚みより薄い。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
X軸、Y’軸、Z’軸により規定されるATカット水晶基板の一方の主面に、エッチングにより矩形状の凹部が形成され、前記凹部の底面を振動部とし、前記振動部の周囲を囲む側壁を有する枠部が前記ATカット水晶基板の外形に沿って形成されている水晶振動片であって、
前記一方の主面が、前記Y’軸のマイナス側を向いた主面であるとき、
前記枠部が、前記振動部より前記Z’軸のプラス側で前記X軸方向に沿って形成された第1の辺部と、前記振動部より前記Z’軸のマイナス側で前記X軸方向に沿って形成された第4の辺部と、前記振動部を挟んで対向するように前記Z’軸方向に沿って形成され、それぞれ一端が前記第1の辺部に接続され他端が前記第4の辺部に接続された第2の辺部及び第3の辺部と、を含んで構成され、
前記枠部の前記第1の辺部の前記Y’軸方向の厚みが、少なくとも他の3つの前記辺部のいずれか1つの前記Y’軸方向の厚みより薄く形成され、
前記一方の主面が、前記Y’軸のプラス側を向いた主面であるとき、
前記枠部が、前記振動部より前記Z’軸のマイナス側で前記X軸方向に沿って形成された一の辺部と、前記振動部より前記Z’軸のプラス側で前記X軸方向に沿って形成された四の辺部と、前記振動部を挟んで対向するように前記Z’軸方向に沿って形成され、それぞれ一端が前記一の辺部に接続され他端が前記四の辺部に接続された二の辺部及び三の辺部と、を含んで構成され、
前記枠部の前記一の辺部の前記Y’軸方向の厚みが、少なくとも他の3つの前記辺部のいずれか1つの前記Y’軸方向の厚みより薄く形成されていることを特徴とする水晶振動片。
IPC (5件)：
H03H 9/19
, H03H 3/02
, H01L 41/09
, H01L 41/22
, H01L 41/18
H03H9/19 E
, H03H3/02 B
, H01L41/08 C
, H01L41/22 Z
, H01L41/18 101A
5J108BB02
, 5J108CC04
, 5J108CC09
, 5J108CC11
, 5J108CC12
, 5J108DD02
, 5J108EE03
, 5J108EE07
, 5J108EE18
, 5J108GG03
, 5J108KK01
, 5J108MM11
出願人引用 (1件)
審査官引用 (8件)
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