特許

J-GLOBAL ID：200903085812811321

合成石英ガラス部材の製造方法

発明者： 大塚 久利 ,  滝田 政俊
出願人/特許権者： 信越化学工業株式会社
代理人 (1件)： 山本 亮一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-282256
公開番号（公開出願番号）：特開平5-097452
出願日： 1991年10月02日
公開日（公表日）： 1993年04月20日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】 本発明は3方向の脈理がフリ-で、△n が≦2×10-6、水素分子含有量が5×1016(molecules/cm3) 以上であることから紫外線用光学用レンズ材として有用とされる合成石英ガラス部材の製造方法の提供を目的とするものである。【構成】 本発明による合成石英ガラス部材の製造方法は、原料けい素化合物を火炎加水分解させて得た合成シリカ微粒子を回転している耐熱性担体上に堆積すると同時に溶融ガラス化して合成石英ガラスを製造する方法において、合成シリカ微粒子を耐熱性担体上に堆積すると同時に溶融ガラス化し、その成長溶融面の時間的温度変化を±20°C以下とすることを特徴とするものである。

請求項（抜粋）：

原料けい素化合物を火炎加水分解させて得た合成シリカ微粒子を回転している耐熱性担体上に堆積すると同時に溶融ガラス化して合成石英ガラスを製造する方法において、合成シリカ微粒子を耐熱性担体上に堆積すると同時に溶融ガラス化し、その成長溶融面の時間的温度変化を±20°C以下とすることを特徴とする合成石英ガラス部材の製造方法。

IPC (2件)：

C03B 20/00 ,  C03B 8/02