特許

J-GLOBAL ID：200903085813422361

板状部材の搬送装置

発明者： 松本 ▲司▼
出願人/特許権者： 第一施設工業株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-347961
公開番号（公開出願番号）：特開2000-159342
出願日： 1998年11月20日
公開日（公表日）： 2000年06月13日
要約：

【要約】【課題】搬送される板状部材5の品質を確保し、また搬送途中の落下等の発生がなく、粉塵等の発生しない板状部材の搬送装置を提供しようとするものである。【解決手段】平面部を有する多孔質体3を設け、圧縮空気の送り込まれる空気室7の上部に多孔質体3を平面部が上向くように取り付け、多孔質体3を通して圧縮空気が噴き出されるようにし、多孔質体3の上に板状部材5を乗せると、多孔質体3と板状部材5との間に空気層が形成され、板状部材5は浮遊し極めて摩擦の小さな状態になる。

請求項（抜粋）：

少なくとも1つの平面部を有する多孔質体を設け、圧縮空気の送り込まれる空気室の上部に前記多孔質体を前記平面部が上向くように取り付け、前記多孔質体を通して圧縮空気が噴き出されるようにした板状部材の搬送装置。

IPC (4件)：

B65G 51/03 ,  B65B 35/10 ,  B65H 5/22 ,  H01L 21/68

FI (4件)：

B65G 51/03 Z ,  B65B 35/10 ,  B65H 5/22 A ,  H01L 21/68 A

Fターム (8件)：

3E054AA02 ,  3E054DD06 ,  3F049FA01 ,  3F049LB12 ,  5F031CA02 ,  5F031CA20 ,  5F031GA63 ,  5F031PA26