特許

J-GLOBAL ID：200903085815365659

ドレッサ、ドレッシング方法、研磨装置、及び研磨方法

発明者： 藤田 隆
出願人/特許権者： 株式会社東京精密
代理人 (1件)： 松浦 憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-161153
公開番号（公開出願番号）：特開2004-001152
出願日： 2002年06月03日
公開日（公表日）： 2004年01月08日
要約：

【課題】急激なパッドドレッシング能力の変化によって研磨性能が大きく変化していくことを防止し、安定したパッドドレッシング能力を有するドレッサ、ドレッシング方法、研磨装置、研磨方法を提供すること。【解決手段】研磨パッド11のドレッサ20を複数のドレッシングペレット21、21、...とそれを保持するベース板22とで構成し、各ドレッシングペレット21を夫々独立して着脱可能にして、各ドレッシングペレット21の高さを個々に調整する高さ調整手段24を設け、各ドレッシングペレット21の摩耗状態に応じてこまめに新規のドレッシングペレット21と交換し、新旧のドレッシングペレット21が混在する状態でパッドドレッシングを行うようにした。【選択図】 図2

請求項（抜粋）：

スラリを供給しながらウエーハを研磨パッドに押圧して研磨する研磨装置の、研磨パッドの目立てを行うドレッサにおいて、 ドレッシングペレットと、 該ドレッシングペレットを保持するベース板と、を有し、 該ベース板には前記ドレッシングペレットが複数設けられるとともに、個々のドレッシングペレットは独立して着脱可能であることを特徴とする研磨パッドのドレッサッ

IPC (4件)：

B24B53/12 ,  B24B37/00 ,  B24B53/02 ,  H01L21/304

FI (5件)：

B24B53/12 Z ,  B24B37/00 A ,  B24B53/02 ,  H01L21/304 621D ,  H01L21/304 622M

Fターム (8件)：

3C047BB01 ,  3C047BB16 ,  3C047EE02 ,  3C047EE11 ,  3C058AA07 ,  3C058AA19 ,  3C058CA01 ,  3C058DA12