特許
J-GLOBAL ID:200903085819377708
ポリマー組成物及びそのポリマーの製造方法
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
中島 淳 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-233819
公開番号(公開出願番号):特開平10-090898
出願日: 1997年08月29日
公開日(公表日): 1998年04月10日
要約:
【要約】【課題】 熱安定であり、電気的に絶縁性で、且つ機械的に強固であり、光パターン形成が可能なポリマー材料を提供する。【解決手段】 水溶性又は水分散性供与置換基を有する少なくとも数個のモノマー繰り返し単位と、化学線を用いて露光したときにポリマーの架橋又はポリマーの鎖の延長を可能にする感光性供与置換基を有する少なくとも幾つかのモノマー繰返し単位と、を含むポリマーを含む組成物を提供する。
請求項(抜粋):
水溶性又は水分散性供与置換基を有する少なくとも数個のモノマー繰り返し単位と、化学線によって露光したときにポリマーの架橋又は鎖の延長を可能にする感光性供与置換基を有する少なくとも数個のモノマー繰返し単位とを含み、下記の一般式を有するポリマー組成物。一般式【化1】式中xは0又は1の整数であり、nは繰返しモノマー単位の数を表す整数であり、Aは以下の構造式又はこれらの混合物であり、【化2】【化3】【化4】Bは以下の構造式又はこれらの混合物であり、【化5】【化6】【化7】【化8】【化9】式中vは1〜約20の整数であり、【化10】式中zは2〜約20の整数であり、【化11】式中uは1〜約20の整数であり、【化12】式中wは1〜約20の整数であり、【化13】【化14】
IPC (4件):
G03F 7/038 501
, C08G 65/40
, C08L 71/10
, H01L 21/027
FI (4件):
G03F 7/038 501
, C08G 65/40
, C08L 71/10
, H01L 21/30 502 R
引用特許:
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