真空ポンプの故障予知システム

発明者： , , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：渡邉勇 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-251868
公開番号（公開出願番号）：特開2000-064964
出願日： 1998年08月21日
公開日（公表日）： 2000年03月03日
要約：

【要約】【課題】半導体製造装置の水封式真空排気系で使用されるメカニカルブースター型真空ポンプのケーシング内に析出する生成物によって発生する詰まり故障を事前に予知し、ポンプの交換を喚起することによって、ポンプの突発故障による製品不良の回避、製品の歩留り向上、ポンプのメンテナンスコスト削減を図ることができる真空ポンプの故障予知システムを提供する。【解決手段】真空ポンプ1の発生するAE(アコースティックエミッション)を検出するAEセンサ3と、モータの電流を検出する電流センサ4と、排気管の温度を検出する温度センサ5とを有したセンサ部2を備え、センサ部2からの信号を用い複数の真空ポンプ1を一括監視するモニタリングシステムと、複数のモニタリングシステムをLAN(ローカルエリアネットワーク)にて接続したワークステーション16上で動作する診断部15とを備えた。

請求項（抜粋）：

半導体製造装置の水封式真空排気系に使用するメカニカルブースター型真空ポンプのケーシング内部に析出する生成物によって発生する詰まり故障を予知するシステムであって、真空ポンプの発生するAE(アコースティックエミッション)を検出するAEセンサと、モータの電流を検出する電流センサと、排気管の温度を検出する温度センサとを有したセンサ部を備え、該センサ部からの信号を用い複数の真空ポンプを一括監視するモニタリングシステムと、複数のモニタリングシステムをLAN(ローカルエリアネットワーク)にて接続したワークステーション上で動作するとともに、真空ポンプに特有な故障予知基準を用いる診断部とを備えたことを特徴とするメカニカルブースター型真空ポンプの故障予知システム。

IPC (2件)：

F04B 49/10 331 , G01M 19/00

FI (2件)：

F04B 49/10 331 N , G01M 19/00 Z

Fターム (19件)：

2G024AD03 , 2G024BA11 , 2G024BA27 , 2G024CA13 , 2G024CA17 , 2G024CA18 , 2G024FA06 , 3H045AA09 , 3H045AA14 , 3H045AA15 , 3H045AA26 , 3H045BA41 , 3H045CA00 , 3H045CA19 , 3H045CA21 , 3H045CA26 , 3H045CA29 , 3H045EA38 , 3H045EA49

前のページに戻る