特許
J-GLOBAL ID:200903085840964222

インプリント方法、情報記録媒体製造方法およびインプリント装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 酒井 伸司
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-156981
公開番号(公開出願番号):特開2005-339669
出願日: 2004年05月27日
公開日(公表日): 2005年12月08日
要約:
【課題】凹凸パターンに変形や欠落を生じさせることなく、しかも短時間で凹凸パターンを形成し得るインプリント方法を提供する。【解決手段】基材(ディスク状基材11、磁性層12および金属層13の積層体)の表面に樹脂材料を塗布して形成した樹脂層14を所定温度まで加熱した状態で樹脂層14にスタンパー20を押し付けるスタンパー押付け処理と、樹脂層14を加熱している状態、および加熱した樹脂層14を保温する状態のいずれかの状態を維持しつつ樹脂層14からスタンパー20を剥離するスタンパー剥離処理とをこの順で実行して、スタンパー20における凹凸パターン33の凹凸形状を樹脂層14に転写して基材の上に凹凸パターンを形成する。【選択図】図11
請求項(抜粋):
基材の表面に樹脂材料を塗布して形成した樹脂層を所定温度まで加熱した状態で当該樹脂層にスタンパーを押し付けるスタンパー押付け処理と、 前記樹脂層を加熱している状態、および加熱した当該樹脂層を保温する状態のいずれかの状態を維持しつつ当該樹脂層から前記スタンパーを剥離するスタンパー剥離処理とをこの順で実行して、前記スタンパーの凹凸形状を前記樹脂層に転写して前記基材の上に凹凸パターンを形成するインプリント方法。
IPC (1件):
G11B5/84
FI (1件):
G11B5/84 Z
Fターム (4件):
5D112AA03 ,  5D112AA20 ,  5D112CC01 ,  5D112GB04
引用特許:
出願人引用 (1件)
  • 米国特許5772905号明細書

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