ウエハ支持部材

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-073278
公開番号（公開出願番号）：特開平8-274146
出願日： 1995年03月30日
公開日（公表日）： 1996年10月18日
要約：

【要約】【構成】ウエハ支持部材を、AlNを主成分とし、焼結助剤としてEr2 O3 を含有するとともに、Siを200ppmより多く、かつ500ppm以下の範囲で含有した熱伝導率が150W/mk以上の窒化アルミニウム質焼結体により形成する。【効果】加熱源であるハロゲンランプからの光を効率的に吸収することができるとともに高い均熱性を備え、かつハロゲン化物ガスより浸食受けが難いウエハ支持部材とすることができる。

請求項（抜粋）：

AlNを主成分とし、焼結助剤としてEr2 O3 を含有するとともに、Siを200ppmより多く、かつ500ppm以下の範囲で含有した熱伝導率が150W/mk以上の窒化アルミニウム質焼結体により形成したことを特徴とするウエハ支持部材。

IPC (2件)：

H01L 21/68 , H01L 21/205

FI (2件)：

H01L 21/68 N , H01L 21/205

引用特許：

出願人引用 (6件)

静電チャック
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-322078 出願人：京セラ株式会社
静電チヤツク
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-190023 出願人：京セラ株式会社
特開平3-137057

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