特許
J-GLOBAL ID:200903085864564861

流体加熱冷却装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 木村 高久
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-082832
公開番号(公開出願番号):特開平10-281583
出願日: 1997年04月01日
公開日(公表日): 1998年10月23日
要約:
【要約】【課題】 加熱源であるランプヒータの端部を冷却して、該ランプヒータの寿命を延ばす。【解決手段】 ヒータ挿入管30が内部を貫通し、このヒータ挿入管30の外周面との間に薬液の流通空間を画成する外管40と、外管40の外周囲に配設され、外管40の外面との間に少なくともヒータ挿入管30の閉止端が内部に露呈する態様で冷却媒体の流通空間を画成するジャケット50と、シングルエンド構造を有し、加熱源としてヒータ挿入管30に挿入される管状のランプヒータ60とを備えている。
請求項(抜粋):
一端が閉止されたヒータ挿入管と、前記ヒータ挿入管が内部を貫通し、該ヒータ挿入管の外周面との間に被加熱冷却流体の流通空間を画成する外管と、前記外管の外周囲に配設され、該外管の外面との間に少なくとも前記ヒータ挿入管の閉止端が内部に露呈する態様で冷却媒体の流通空間を画成するジャケットと、シングルエンド構造を有し、加熱源として前記ヒータ挿入管に挿入される管状のランプヒータと、を備え、前記外管に前記被加熱冷却流体の流入口および流出口を設けると共に、前記ジャケットに前記冷却媒体の流入口および流出口を設けたことを特徴とする流体加熱冷却装置。
IPC (2件):
F25B 23/00 ,  H01L 21/304 341
FI (2件):
F25B 23/00 Z ,  H01L 21/304 341 Z

前のページに戻る