アクティブマトリクス型液晶表示装置

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小川勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-284755
公開番号（公開出願番号）：特開平8-146446
出願日： 1994年11月18日
公開日（公表日）： 1996年06月07日
要約：

【要約】【目的】スループットが大きく歩留まりが高いため低コスト化が可能なアクティブマトリクス型液晶表示装置を提供する。【構成】Mo,Nb,Ta及びWから選んだ少なくとも一つの金属とCrとの合金を電極材料として用いる。

請求項（抜粋）：

一方の表面に複数のゲート配線及び前記ゲート配線と交差する複数のドレーン配線が形成され、前記複数のゲート配線と複数のドレーン配線の各交差部の近傍にはトランジスタが配設され、前記トランジスタのソース電極はその近傍に設けられた画素電極に、ドレーン電極は前記複数のドレーン配線の1つに、ゲート電極は前記複数のゲート配線の1つにそれぞれ接続された第1の基板と、前記第1の基板と対向して配置され、前記画素電極に対向した面に対向電極が形成された第2の基板と、前記第1の基板と第2の基板との間に挾持された液晶とからなるアクティブマトリクス型液晶表示装置において、前記複数のゲート配線及び前記複数のドレーン配線の少なくともいずれかは、Mo,Nb,Ta及びWから選んだ少なくとも一種の金属とCrとの合金によって構成されていることを特徴とするアクティブマトリクス型液晶表示装置。

IPC (5件)：

G02F 1/1343 , G02F 1/136 500 , H01L 21/28 301 , H01L 21/768 , H01L 29/786

FI (2件)：

H01L 21/90 B , H01L 29/78 612 C

引用特許：

審査官引用 (9件)

特開平3-118521
特開昭63-296021
特開平4-073620

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