特許

J-GLOBAL ID：200903085870568739

グロー放電処理装置におけるアーク放電後の復帰方法

発明者： 松 沢 正 ,  久保田 喜郎
出願人/特許権者： 日本電子工業株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-229490
公開番号（公開出願番号）：特開平7-062521
出願日： 1993年08月23日
公開日（公表日）： 1995年03月07日
要約：

【要約】【目的】 アーク放電発生時の遮断期間及び復帰期間を短縮できるプラズマ処理装置を提供する。【構成】 直流制御部1で商用電力から変換され、平滑回路2を介して取り出された直流電圧は、インバータスイッチング部3へ送られて、交流(矩形波)に変換され、昇圧トランス4、整流部5を介して処理装置本体6へ供給される。7はサイリスタ制御部、8はインバータ制御部である。9は昇圧トランス4と整流部5の間に設けられたカレントトランス、10はカレントトランスで検出された電流を読み取り、その値に応じて前記サイリスタ制御部7及びインバータ制御部8へ制御信号を送る電流検出回路である。11は本体処理室内の処理物の温度を検出する温度検出器で、得られた温度検出信号は、前記インバータ制御部8へ供給される。

請求項（抜粋）：

グロー放電処理装置におけるアーク放電後の復帰方法であって、アーク放電検出に基づいて所定期間放電のための電圧供給を停止した後、放電用電圧を時間間隔をおいてパルス的に且つその波高値を初期値から徐々に上昇させて供給すると共に、そのパルス幅を供給開始から徐々に増加させるようにしたことを特徴とする復帰方法。

IPC (2件)：

C23C 8/36 ,  C23C 14/34

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭54-035138
  
• 特開昭53-060337
  
• 特開昭52-029438