特許
J-GLOBAL ID：200903085876001790
基板位置決め方法
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-244539
公開番号（公開出願番号）：特開平5-057874
出願日： 1991年08月28日
公開日（公表日）： 1993年03月09日
要約：
【要約】【目的】 印刷テーブルへの基板の位置決めを短時間に効率よく行うことを可能にする。【構成】 アライメントマーク30が施された基板3を、X・Y・θ移動テーブル9上のアライメントテーブル1に載置する。アライメントテーブル1上のカメラ5で基板3のアライメントマーク30の位置を読み取り、演算装置50にすでに記憶されている基準位置データと比較し位置ずれ量を算出する。その位置ずれ量をもとにアライメントテーブル1上で基板3を所定の位置に位置決めする。次に、基板3の置き換えを正確におこなう搬送手段4を用いて印刷テーブル2上へ精度良く搬送する。
請求項（抜粋）：
印刷テーブルとは別個に設けられたアライメントテーブル上で、基板を所定の位置に位置決めしておき、つぎに、基板の置き換えを正確におこなう搬送手段を用いてアライメントテーブル上の前記所定の位置から印刷テーブル上の所定の位置に基板を置き換えることによって、印刷テーブル上の正確な位置に基板を位置決めすることを特徴とする薄膜形成装置に用いられる基板位置決め方法。
IPC (2件)：
引用特許：
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