高温場用表面プラズマアクチュエータ

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-114863
公開番号（公開出願番号）：特開2008-270110
出願日： 2007年04月24日
公開日（公表日）： 2008年11月06日
要約：

【課題】高温でも絶縁材が絶縁破壊することなく、電極の剥がれが生じず、表面の気流による電極の破壊等を生じることがないことにより、長期間安定してプラズマジェットを発生することができる高温場用表面プラズマアクチュエータとする。【解決手段】絶縁材1を挟んで表面側電極3と裏面側電極5を設け、表面側電極3の表面と絶縁材1の表面2に、アルミナ系材料やムライトを用いてEB-PVD法等によりコーティングし、多孔性の材料からなるコーディング層7を形成する。両電極に電源6から高電圧を印可するとコーティング層が多孔性のため、表面プラズマ9がコーティング層7の外に発生し、誘導気流11も発生するため表面プラズマアクチュエータとして用いることができる。電極は絶縁材に埋め込んでも良く、またコーティング層を多孔性にしないときには、表面電極3上のコーティング層の一部を削除し、突出電極を設けても良い。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

絶縁材を挟んで表面側電極と裏面側電極を設け、両電極に電圧を印可することにより表面側電極から表面プラズマを発生する表面プラズマアクチュエータにおいて、前記表面側電極と絶縁材の表面にコーディング層を形成したことを特徴とする高温場用表面プラズマアクチュエータ。

IPC (1件)：

H05H 1/24

FI (1件)：

H05H1/24

Fターム (6件)：

3G002GA07 , 3G002GB05 , 4K029AA07 , 4K029BA44 , 4K029CA01 , 4K029DB21

引用特許：

審査官引用 (5件)

沿面放電を用いた表面処理装置及びその方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-353804 出願人：セイコーエプソン株式会社
オゾン発生素子
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-041121 出願人：株式会社安川電機
オゾン発生用放電体
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-180899 出願人：京セラ株式会社

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