特許
J-GLOBAL ID：200903085878925492
自動検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井出 直孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-098143
公開番号（公開出願番号）：特開平5-297065
出願日： 1992年04月17日
公開日（公表日）： 1993年11月12日
要約：
【要約】【目的】 被試験デバイスの特性変動に対応した最適化された検査フローを自動的に作成可能とし、検査工数およびプログラマの技術工数の低減化を図る。【構成】 あらかじめ設計された制御プログラム(1)を内蔵する制御ブロック6と、最適化された制御プログラム(2)を内蔵する制御ブロック7と、検査項目ごとの検査プログラムをそれぞれ内蔵し制御プログラム(1)または(2)に従って検査を実行する検査ブロック1〜5と、検査項目ごとの検査時間情報を求める計測ブロック8と、検査項目ごとの不良発生頻度分類情報を求める解析ブロック9と、求められた検査時間情報および不良発生頻度分類情報から最適化された検査フローとそれに基づく最適化された制御プログラム(2)を生成する最適化ブロック10と、各ブロック間の情報伝達可能なATEバス11とを備える。
請求項（抜粋）：
被試験デバイスをプログラムに従って自動的に試験する手段を備えた自動検査装置において、検査項目の検査順序を定めた検査フローに従って動作を制御する制御プログラムを内蔵した少なくとも一つの制御ブロックと、前記検査項目ごとの検査プログラムをそれぞれ内蔵し前記制御プログラムに従って前記検査項目ごとに検査する複数の検査ブロックと、前記検査項目ごとの検査時間情報を求める計測ブロックと、前記検査項目ごとの不良発生頻度分類情報を求める解析ブロックと、前記検査時間情報および前記不良発生頻度情報から所望の最適化された検査フローと、この最適化された検査フローをプログラミングした最適化された制御プログラムとを自動生成し、前記制御ブロック内蔵の制御プログラムを置換する最適化ブロックと、各ブロック間の情報伝達可能なバスと、を備えたことを特徴とする自動検査装置。
IPC (3件)：
G01R 31/28
, G06F 15/46
, H01L 21/66
