表面分析装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴木利之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-240214
公開番号（公開出願番号）：特開平5-052772
出願日： 1991年08月28日
公開日（公表日）： 1993年03月02日
要約：

【要約】【目的】真空容器を排気した状態でも試料保持台の水平基準の原点が出せるようにする。【構成】真空容器2の内部には試料保持台16があり、その上には二つの水準器20、22を互いに直角になるように配置してある。水準器20、22は覗き窓8、10から観察できる。試料保持台16は、回転導入器12、14によって水平回転軸13、15の回りに回転させることができる。真空容器2を真空に排気した状態で、覗き窓8、10から水準器20、22を観察し、水準器20、22の気泡が中央にない場合は、回転導入器12、14を回転することによって気泡を水準器の中央にもってくる。

請求項（抜粋）：