静電容量式圧力・差圧伝送器

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：倉内義朗
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-158179
公開番号（公開出願番号）：特開平10-009987
出願日： 1996年06月19日
公開日（公表日）： 1998年01月16日
要約：

【要約】【課題】センサ構造を複雑にすることなく温度特性の非対称性を小さくでき、もって低コストで分解能を維持することが可能な構造の静電容量式圧力・差圧伝送器を提供する。【解決手段】圧力センサ10を、ガラスブロック2a-Siダイアフラム1-ガラスブロック2bからなる3層構造とし、この圧力センサ10の片側(低圧側)のガラスブロック2bとフランジ11とを絶縁部品3bを介して気密に接合するとともに、その圧力センサ10の他方側(高圧側)のガラスブロック2aにも絶縁部品3aを、上記片側のガラスブロック2bの絶縁部品3bと対応する位置関係で設けて、圧力センサ10の両側の温度特性が等価的に対称となるようにする。

請求項（抜粋）：

測定したい圧力で有効な変形を示す厚みのSiダイアフラムの両側に、それぞれ、対向電極及び圧力伝達用の貫通穴を有する一対のガラスブロックが気密に接合され、そのSiダイアフラムとガラスブロックとの間で圧力測定室が形成されてなる圧力センサを、圧力伝達室を構成するかご体の内部に、この圧力センサの片側に連結したフランジを介して支持する構造の静電容量式圧力・差圧伝送器において、上記圧力センサの片側のガラスブロックとフランジとを絶縁部品を介して気密に接合するとともに、その圧力センサの他方側のガラスブロックにも絶縁部品を、上記片側のガラスブロックの絶縁部品と対応する位置関係で設けたことを特徴とする静電容量式圧力・差圧伝送器。

IPC (2件)：

G01L 13/06 , G01L 19/04

FI (2件)：

G01L 13/06 C , G01L 19/04

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開平3-205528
特開昭60-070329
特開平3-205528

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