研磨布

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：五十嵐俊明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-285965
公開番号（公開出願番号）：特開2007-092252
出願日： 2005年09月30日
公開日（公表日）： 2007年04月12日
要約：

【課題】研磨加工時の変形を抑制することができ、研磨速度の低下を抑制し寿命を向上させることができる研磨布を提供する。【解決手段】研磨クロスは、ポリエステル繊維12が樹脂層8で被覆された繊維10によりシート状に形成された不織布を有している。樹脂層8は、ポリエステル繊維12の表面を被覆し架橋された架橋ポリウレタン樹脂層8aと、架橋ポリウレタン樹脂層8aを被覆するウレタン樹脂層8bとを有している。架橋ポリウレタン樹脂層8aは、湿式凝固されたポリウレタン樹脂が多価イソシアネート化合物で架橋されている。ウレタン樹脂層8bは、イソシアネート末端ウレタンプレポリマが3,3’-ジクロロ-4,4’-ジアミノジフェニルメタンで架橋されている。研磨加工時に、摩擦等で発熱しても、架橋ポリウレタン樹脂層8aと、ウレタン樹脂層8bとがいずれも軟化しない。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

樹脂層で被覆された繊維によりシート状に形成された繊維集合体を有する研磨布において、前記樹脂層は、前記繊維の表面を被覆し架橋された第1の熱硬化性樹脂層と、該第1の熱硬化性樹脂層を被覆した第2の熱硬化性樹脂層とを有していることを特徴とする研磨布。

IPC (3件)：

D06M 15/564 , H01L 21/304 , B24B 37/00

FI (3件)：

D06M15/564 , H01L21/304 622F , B24B37/00 C

Fターム (14件)：

3C058AA07 , 3C058AA09 , 3C058CB02 , 3C058CB03 , 3C058CB10 , 4L033AB05 , 4L033AC08 , 4L033BA12 , 4L033BA18 , 4L033BA50 , 4L033BA69 , 4L033BA99 , 4L033CA50 , 4L033CA70

引用特許：

出願人引用 (1件)

特公平7-4769号公報

審査官引用 (4件)

繊維シート及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-400188 出願人：大日精化工業株式会社, 浮間合成株式会社
特開平2-080671
特開平2-250776

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