特許
J-GLOBAL ID：200903085902220527
炭素材料作製方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-231188
公開番号（公開出願番号）：特開平5-043393
出願日： 1991年08月16日
公開日（公表日）： 1993年02月23日
要約：
【要約】【目的】 本発明はダイヤモンドを含む炭素材料またはダイヤモンド材料の成膜速度の向上および低温での成膜を可能とすることを目的とするものである。【構成】 出発原料としてアダマンタン、ジアマンタン、トリアマンタン、OH基を持つアダマンタン化合物である1ーアダマンタノール、2ーアダマンタノール、または分子中にハロゲン原子を含むアダマンタン化合物を用い、反応補助材料としてフッ素、四フッ化炭素、塩素、四塩化炭素、等のハロゲン原子を含む気体、ハロゲン化物気体、または水素を使用する。
請求項（抜粋）：
化学的気相成長法によるダイヤモンドを含む炭素材料またはダイヤモンド材料の作製において、反応用出発材料中の炭素原子を含む材料として、アダマンタン、ジアマンタン、トリアマンタン、OH基を持つアダマンタン化合物である1ーアダマンタノール、2ーアダマンタノール、または分子中にハロゲン原子を含むアダマンタン化合物を適宜選択して採用し、反応補助材料としてフッ素、四フッ化炭素、塩素、四塩化炭素、等のハロゲン原子を含む気体または水素より適宜選択して用いることを特徴とする炭素材料作製方法。
IPC (2件)：
引用特許：
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