特許

J-GLOBAL ID：200903085903717719

回転駆動装置

発明者： 畠 一尋
出願人/特許権者： 株式会社小松製作所
代理人 (1件)： 浜本 忠 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-127280
公開番号（公開出願番号）：特開2000-317867
出願日： 1999年05月07日
公開日（公表日）： 2000年11月21日
要約：

【要約】【課題】 真空室内で回転する従動部材を支持する軸受の径を小さくできてコストダウンを図ると共に真空室内での装置全体を半径方向に小さくできるようにする。【解決手段】 トランスファチャンバ1等の真空室の対向する一方の壁に、有底円筒状に形成した隔壁33を、これの円筒部を真空室の外側へ突出させると共に、これの内側を真空室の内側に向け、外側を大気側に向けて固着し、隔壁の筒状部に、隔壁を隔てて対向する外側と内側のマグネットからなるマグネットカップリングCM1,CM2を配置し、マグネットカップリングの外側のマグネット32a,32bに真空室の外側に支持されたモータ29a,29bの出力部材を連結し、内側のマグネット37a,37bに従動部材36a,36bを連結し、従動部材を真空室内に設けた支持部材34a,34bに設けた軸受に支持した。

請求項（抜粋）：

トランスファチャンバ等の真空室の対向する一方の壁に、有底円筒状に形成した隔壁を、これの円筒部を真空室の外側へ突出させると共に、これの内側を真空室の内側に向け、外側を大気側に向けて固着し、隔壁の筒状部に、隔壁を隔てて対向する外側と内側のマグネットからなるマグネットカップリングを配置し、マグネットカップリングの外側のマグネットに真空室の外側に支持された駆動装置の出力部材を連結し、内側のマグネットに真空室内に位置するロボットに結合される従動部材を連結し、従動部材を真空室内に設けた支持部材に設けた軸受にて支持したことを特徴とする回転駆動装置。

IPC (3件)：

B25J 9/06 ,  B25J 17/00 ,  H01L 21/68

FI (3件)：

B25J 9/06 E ,  B25J 17/00 B ,  H01L 21/68 A

Fターム (22件)：

3F060AA08 ,  3F060AA09 ,  3F060GA05 ,  3F060GA13 ,  3F060GB00 ,  3F060GC01 ,  5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031FA01 ,  5F031FA02 ,  5F031FA07 ,  5F031FA11 ,  5F031FA12 ,  5F031GA44 ,  5F031GA47 ,  5F031GA50 ,  5F031LA07 ,  5F031LA11 ,  5F031MA04 ,  5F031MA07 ,  5F031NA02 ,  5F031NA05