特許
J-GLOBAL ID：200903085908742061
カンチレバー駆動機構の製造方法、プローブ駆動機構の製造方法、カンチレバー駆動機構、プローブ駆動機構、及びこれを用いたマルチプローブ駆動機構、走査型トンネル顕微鏡、情報処理装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
豊田 善雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-248925
公開番号（公開出願番号）：特開平5-209715
出願日： 1992年08月26日
公開日（公表日）： 1993年08月20日
要約：
【要約】【目的】 探針を有したカンチレバー状の駆動機構とその駆動回路部を同一基板上に形成するにあたり、回路部電極層を基板上に直接設けていた従来の手法により生じるヒロック等の発生を防止することにある。【構成】 圧電体層を電極層により挟持し、かつ、トンネル電流を検知する探針及び該トンネル電流を取り出す電極を有したカンチレバーと、該カンチレバーと同一基板上に選択的に該カンチレバーを駆動しトンネル電流を検知・増巾する回路を設けてなる探針駆動機構の製造方法において、回路部の電気的接続部以外で回路部の電極層が基板と直接に接することのないように、酸化層及び/又はLOCOS層の上に設けた層間絶縁層を介して基板上に回路部の電極層を設けることを特徴とする探針駆動機構の製造方法にある。
請求項（抜粋）：
圧電体層を電極層により挟持してなるカンチレバー部と、該カンチレバー部に隣接し、該カンチレバーを駆動する回路部とを同一基板上に設けてなるカンチレバー駆動機構の製造方法であって、回路部を形成した後、カンチレバー部を形成することを特徴とするカンチレバー駆動機構の製造方法。
IPC (4件)：
G01B 7/34
, G05D 3/00
, G11B 9/00
, H01J 37/28
