特許

J-GLOBAL ID：200903085923548832

プローブカード

発明者： 風見 哲夫
出願人/特許権者： 日本電気株式会社
代理人 (1件)： 菅野 中
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-318962
公開番号（公開出願番号）：特開平6-163657
出願日： 1992年11月27日
公開日（公表日）： 1994年06月10日
要約：

【要約】【目的】 プローブ針及び基板の空冷を行うことにより、プローブ針,基板の自己発熱による破損を防止する。【構成】 プローブカード基板に垂直に密集して取り付けられたプローブ針及び基板の近傍に、送風を行うためのパイプ1-5と、吸気を行うためのパイプ1-6を設け、プローブ針,基板への送風,吸気を行うことにより、プローブ針,基板で大電流によって発生した熱の放出を行う。また、基板にヒートシンク1-7を取り付けることにより放熱効率を上げる。

請求項（抜粋）：

送風手段を有し、半導体集積回路にプローブ針を接触させてウェハ検査を行うためのプローブカードであって、プローブ針は、プローブカード基板に垂直に密集されて植立されたものであり、送風手段は、プローブ針にエアーを吹付けて空冷するものであることを特徴とするプローブカード。

IPC (4件)：

H01L 21/66 ,  G01R 1/073 ,  G01R 31/26 ,  H01L 23/467

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭64-057180
  
• 特開昭64-008640
  
• 特開昭53-045976