特許
J-GLOBAL ID：200903085923967886
粒子検出装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
岡田 敬
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-037042
公開番号（公開出願番号）：特開平8-233724
出願日： 1995年02月24日
公開日（公表日）： 1996年09月13日
要約：
【要約】【目的】 複数の粒子径の粒子を簡単な光検出手段を用いて検出可能な粒子検出装置を提供することを目的とする。【構成】 粒子に光を照射するための光源手段1と、透光状態と光遮蔽状態の切り換え可能な光取出部が同心円上に配置され、光取出部を透光状態に選択することにより上記粒子により回折された回折光を部分的に透過せしめる遮蔽手段5と、該遮蔽手段を透過した回折光を検出する光検出手段7と、を備えた。
請求項（抜粋）：
粒子に光を照射するための光源手段と、独立に透光状態と光遮蔽状態の切り換えが可能な複数個の光取出部が同心円上に配置され、任意の光取出部を透光状態に選択することにより所望粒子により回折された回折光を部分的に透過するようにした遮蔽手段と、該遮蔽手段を透過した回折光を検出する光検出手段と、を備えたことを特徴とする粒子検出装置。
IPC (2件)：
FI (3件)：
G01N 15/14 D
, G01N 15/14 Q
, G01N 21/53 Z
