特許

J-GLOBAL ID：200903085924073021

レーザトリミング装置

発明者： ▲高▼橋 正治 ,  安東 良典 ,  渊上 正仁
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 岩橋 文雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-263251
公開番号（公開出願番号）：特開2003-077715
出願日： 2001年08月31日
公開日（公表日）： 2003年03月14日
要約：

【要約】【課題】 粉塵によるプローブの汚染を防ぎ、電気的特性の測定の精度低下を防止できるレーザトリミング装置を提供をすることを目的とするものである。【解決手段】 電気的特性の測定を行う複数のプローブ9の一端を取付け保持する保持体10を配設した基板8と、前記プローブ9を包含しかつ被測定体と当接する他端が突出する、上カバー1、下カバー2、対のサイド体3および前記保持体10で形成され、唯一の開口部であるエアー5の吹き出し口4を有するエアー排出ノズルで構成され、レーザ加工時に前記エアー排出ノズルへ供給されたエアー5を前記吹き出し口4より吹き出す構成とする。

請求項（抜粋）：

電気的特性の測定を行う複数のプローブを保持体にて平行するように保持し、かつ前記複数のプローブの一端を電気的に接続した基板と、前記複数のプローブを包含しかつ被測定体と当接する前記複数のプローブの他端が突出する唯一の開口部としてのエアー吹き出し口を有するエアー排出ノズルを含み、レーザ加工時に前記エアー排出ノズルへ供給されたエアーを前記エアー吹き出し口より吹き出すように構成したプローブガードを備えたレーザトリミング装置。

IPC (4件)：

H01C 17/22 ,  B23K 26/00 ,  B23K 26/14 ,  B23K101:36

FI (4件)：

H01C 17/22 D ,  B23K 26/00 C ,  B23K 26/14 A ,  B23K101:36

Fターム (9件)：

4E068AC00 ,  4E068CG01 ,  4E068DA09 ,  5E032BA04 ,  5E032BB01 ,  5E032CA01 ,  5E032TA03 ,  5E032TB01 ,  5E032TC01