特許
J-GLOBAL ID：200903085934290470
ポリッシング装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
渡邉 勇 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-281477
公開番号（公開出願番号）：特開平10-109264
出願日： 1996年10月02日
公開日（公表日）： 1998年04月28日
要約：
【要約】【課題】 研磨布の取り替え等の作業を効率良く行って装置の稼働率を向上させるとともに、使用者の作業負担を減らし、作業性を改善することができるポリッシング装置を提供する。【解決手段】 表面に研磨布100aを貼ったターンテーブル100と、ターンテーブルに対向する位置に被研磨物を保持するトップリング111と、ターンテーブル100に対向して配置されて研磨布のドレッシングを行なうドレッシング手段121と、トップリング及び/又はドレッシング手段をターンテーブルに対向する位置から待避させる待避手段131,141と、トップリング及び/又はドレッシング装置と研磨布とを連絡する連絡手段とを備え、これらトップリング及び/又はドレッシング手段の待避動作に伴い、研磨布110aをターンテーブル100から剥離可能とした。
請求項（抜粋）：
表面に研磨布を貼ったターンテーブルと、該ターンテーブルに対向する位置に被研磨物を保持するトップリングと、該ターンテーブルに対向して配置されて前記研磨布のドレッシングを行なうドレッシング手段と、前記トップリング及び/又はドレッシング手段を前記ターンテーブルに対向する位置から待避させる待避手段と、前記トップリング及び/又はドレッシング装置と前記研磨布とを連絡する連絡手段とを備え、これらトップリング及び/又はドレッシング手段の待避動作に伴い、前記研磨布を前記ターンテーブルから剥離可能としたことを特徴とするポリッシング装置。
FI (2件)：
B24B 37/00 A
, B24B 37/00 C
