特許

J-GLOBAL ID：200903085944244680

有機エレクトロルミネッセンス素子に使用される有機薄膜の膜厚測定法および測定装置

発明者： 岡田 裕之 ,  柴田 幹 ,  越後 忠洋 ,  中 茂樹 ,  女川 博義
出願人/特許権者： 富山大学長
代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-086992
公開番号（公開出願番号）：特開2003-279326
出願日： 2002年03月26日
公開日（公表日）： 2003年10月02日
要約：

【要約】【課題】 透明基板上に形成された有機薄膜の膜厚分布を測定する。【解決手段】有機エレクトロルミネッセンス素子(16)に用いられる有機薄膜(161)の相対的膜厚分布を測定する方法であって、有機薄膜の所定の領域に紫外光(13)を含む光を照射し、有機薄膜が光照射の応じて生成する蛍光(14)の強度を測定し、蛍光の強度から所定の領域の膜厚を求め、有機薄膜の各領域の膜厚から有機薄膜の膜厚の分布を測定する膜厚分布測定方法。そして、有機エレクトロルミネッセンス素子(16)に用いられる有機薄膜(161)の相対的膜厚分布を測定する装置であって、有機薄膜の所定の領域に紫外光(13)を含む光を照射する手段(11)と、有機薄膜が生成する蛍光の強度を測定する手段(12)と、蛍光の強度から所定の領域の膜厚を求める手段(20)とを有し、有機薄膜の各領域の膜厚から有機薄膜の膜厚の分布を求める膜厚分布測定装置。

請求項（抜粋）：

有機エレクトロルミネッセンス素子に用いられる有機薄膜の相対的膜厚分布を測定する方法であって、前記有機薄膜の所定の領域に紫外光を含む光を照射し、前記有機薄膜が前記光照射の応じて生成する蛍光の強度を測定し、前記蛍光の強度から前記有機薄膜の前記所定の領域の膜厚を求め、前記有機薄膜の各領域の膜厚から前記有機薄膜の膜厚の分布を求めることを特徴とする膜厚分布測定方法。

IPC (4件)：

G01B 11/06 ,  G01M 11/00 ,  H05B 33/10 ,  H05B 33/14

FI (4件)：

G01B 11/06 Z ,  G01M 11/00 T ,  H05B 33/10 ,  H05B 33/14 A

Fターム (19件)：

2F065AA30 ,  2F065BB13 ,  2F065BB17 ,  2F065CC21 ,  2F065FF00 ,  2F065GG03 ,  2F065GG05 ,  2F065JJ01 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ18 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL22 ,  2F065LL30 ,  2F065LL67 ,  2F065PP12 ,  2G086EE03 ,  3K007AB18 ,  3K007DB03 ,  3K007FA00

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開平3-252512
  
• 有機材料膜の成膜方法、有機EL素子の製造方法および製造装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-102190   出願人：パイオニア株式会社