特許
J-GLOBAL ID:200903085945737124
保持装置
発明者:
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出願人/特許権者:
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代理人 (1件):
志賀 正武 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平8-016051
公開番号(公開出願番号):特開平9-207039
出願日: 1996年01月31日
公開日(公表日): 1997年08月12日
要約:
【要約】【課題】 保持に伴い物品に生じる応力が可能な限り抑制された保持装置を得る。【解決手段】 固定部材4と、固定部材4に対し相対移動する可動部材3との間に挟まれた物品13を保持する保持装置であって、固定電極8と、可動部材3に装着され、かつ固定電極8に対し微小な間隔S1を介して対向しつつ相対移動する可動電極6とを設け、これら電極6,8の間に、電気レオロジー効果を有する電気レオロジー流体または電圧の印加により凝集する電界凝集型粉体から選択される物質12を介在させる。そして、これら電極6,8に電圧を印加して、上記電気レオロジー流体の粘度を増大させるか、あるいは電界凝集型粉体を凝集させることにより、可動部材3を固定電極8に対し停止させる。
請求項(抜粋):
固定部材と、この固定部材に対し相対移動する可動部材とを具備し、これら固定部材と可動部材との間に挟まれた物品を保持する保持装置であって、固定電極と、上記可動部材に装着され、かつ上記固定電極に対し微小な間隔で対向しつつ相対移動する可動電極とを設け、これら電極の間に、電気レオロジー流体または電圧の印加により凝集する電界凝集型粉体から選択される物質を介在させ、これら電極に電圧を印加して、上記電気レオロジー流体の粘度を増大させ、あるいは上記電界凝集型粉体を凝集させることにより、上記可動部材を前記固定電極に対し停止させることを特徴とする保持装置。
IPC (4件):
B23Q 3/08
, B23Q 3/15
, B25B 11/00
, H01L 21/68
FI (4件):
B23Q 3/08 Z
, B23Q 3/15 Z
, B25B 11/00 Z
, H01L 21/68 S
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