特許

J-GLOBAL ID：200903085949711545

感エネルギー線ポジ型感応性組成物

発明者： 鳥羽 泰正 ,  田中 康裕 ,  安池 円
出願人/特許権者： 東洋インキ製造株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-117204
公開番号（公開出願番号）：特開平9-304931
出願日： 1996年05月13日
公開日（公表日）： 1997年11月28日
要約：

【要約】【課題】高感度な感エネルギー線酸発生剤であるオニウムボレート錯体を用いた感エネルギー線ポジ型感応性組成物を提供する。【解決手段】 オニウムカチオンと、一般式(1)のボレートアニオンとから構成されるオニウムボレート錯体である感エネルギー線酸発生剤(A)、および酸を触媒とする反応により現像液に対する親和性あるいは溶解性が増加する性質を有する化合物(B)を含むことを特徴とする感エネルギー線ポジ型感応性組成物。一般式(1)[BYmZn]-(ただし、Yはフッ素または塩素、Zはフッ素、シアノ基、ニトロ基、トリフルオロメチル基の中から選ばれる少なくとも2個の電子吸引性基で置換されたフェニル基、mは0〜3の整数、nは1〜4の整数を表し、m+n=4である。)

請求項（抜粋）：

オニウムカチオンと、下記一般式(1)のボレートアニオンとから構成されるオニウムボレート錯体である感エネルギー線酸発生剤(A)、および酸を触媒とする反応により現像液に対する親和性あるいは溶解性が増加する性質を有する化合物(B)を含むことを特徴とする感エネルギー線ポジ型感応性組成物。一般式(1)[BYmZn]-(ただし、Yはフッ素または塩素、Zはフッ素、シアノ基、ニトロ基、トリフルオロメチル基の中から選ばれる少なくとも2個の電子吸引性基で置換されたフェニル基、mは0〜3の整数、nは1〜4の整数を表し、m+n=4である。)

IPC (4件)：

G03F 7/039 501 ,  G03F 7/00 501 ,  G03F 7/004 503 ,  H01L 21/027

FI (4件)：

G03F 7/039 501 ,  G03F 7/00 501 ,  G03F 7/004 503 ,  H01L 21/30 502 R