感エネルギー線ポジ型感応性組成物

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-117204
公開番号（公開出願番号）：特開平9-304931
出願日： 1996年05月13日
公開日（公表日）： 1997年11月28日
要約：

【要約】【課題】高感度な感エネルギー線酸発生剤であるオニウムボレート錯体を用いた感エネルギー線ポジ型感応性組成物を提供する。【解決手段】オニウムカチオンと、一般式(1)のボレートアニオンとから構成されるオニウムボレート錯体である感エネルギー線酸発生剤(A)、および酸を触媒とする反応により現像液に対する親和性あるいは溶解性が増加する性質を有する化合物(B)を含むことを特徴とする感エネルギー線ポジ型感応性組成物。一般式(1)[BYmZn]-(ただし、Yはフッ素または塩素、Zはフッ素、シアノ基、ニトロ基、トリフルオロメチル基の中から選ばれる少なくとも2個の電子吸引性基で置換されたフェニル基、mは0〜3の整数、nは1〜4の整数を表し、m+n=4である。)

請求項（抜粋）：

オニウムカチオンと、下記一般式(1)のボレートアニオンとから構成されるオニウムボレート錯体である感エネルギー線酸発生剤(A)、および酸を触媒とする反応により現像液に対する親和性あるいは溶解性が増加する性質を有する化合物(B)を含むことを特徴とする感エネルギー線ポジ型感応性組成物。一般式(1)[BYmZn]-(ただし、Yはフッ素または塩素、Zはフッ素、シアノ基、ニトロ基、トリフルオロメチル基の中から選ばれる少なくとも2個の電子吸引性基で置換されたフェニル基、mは0〜3の整数、nは1〜4の整数を表し、m+n=4である。)

IPC (4件)：

G03F 7/039 501 , G03F 7/00 501 , G03F 7/004 503 , H01L 21/027

FI (4件)：

G03F 7/039 501 , G03F 7/00 501 , G03F 7/004 503 , H01L 21/30 502 R

引用特許：

出願人引用 (4件)

感エネルギー線酸発生剤、感エネルギー線酸発生剤組成物および硬化性組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-342492 出願人：東洋インキ製造株式会社
テトラアルキルオニウムテトラキス(ペンタフロロフェニル)ボレートの製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-260540 出願人：三菱化学株式会社
有機官能性基含有重合体の陽イオン架橋用開始剤、これらの開始剤を含有する架橋性ポリオルガノシロキサン基材組成物及び付着防止におけるかかる組成物の適用
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-261014 出願人：ローヌ-プーラン・シミ

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