カラーフィルターの検査方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：米澤明 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-087071
公開番号（公開出願番号）：特開平5-288640
出願日： 1992年04月08日
公開日（公表日）： 1993年11月02日
要約：

【要約】【目的】カラーフィルターの異物混入あるいは突起等による異常個所の検出を正確に、短時間に行う。【構成】カラーフィルターの着色画素あるいは保護膜等に混入した異物あるいは突起等の異常個所を検出するために、単色光の光源を用いてカラーフィルターを照射し、反射光もしくは透過光を光検出器を用いて検出して、異常個所を検出するものであり、比較信号を比較カラーフィルターの試料カラーフィルターと同一の個所から得られる信号として比較したり、あるいは光検出器をラインセンサとして、現在の検出値と直前のラインの検出値とを比較して検出するものである。

請求項（抜粋）：

カラーフィルターの着色画素あるいは保護膜等に混入した異物あるいは突起等の異常個所を検出するカラーフィルターの検査方法において、単色光の光源を用いてカラーフィルターを照射し、反射光もしくは透過光を光検出器を用いて検出し、光検出器の出力を比較信号と比較して異常個所を検出することを特徴とするカラーフィルターの検査方法。

IPC (2件)：

G01M 11/00 , G02B 5/20 101

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開平3-274447
特開昭62-215779
特開平3-006410

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