高温測温用セラミック熱電対

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：尾仲一宗 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-181838
公開番号（公開出願番号）：特開平11-014467
出願日： 1997年06月24日
公開日（公表日）： 1999年01月22日
要約：

【要約】【課題】本発明は、測温応答性及び測温精度を向上させ、反復使用可能にした長寿命の高温測温用セラミック熱電対を提供する。【解決手段】この高温測温用セラミック熱電対は、窒化珪素等セラミックスから成る内側保護管2,内側保護管2を内包した状態で設けられたMoをベースとするサーメットから成る外側保護管1,異なる組成の一対のタングステン-レニウム合金製素線6,7,及び内側保護管2と外側保護管1との内部で素線6,7を内包した状態で充填された窒化ケイ素を主成分とする多孔部材3,4から成る。外側保護管1の端部には,耐熱部材9と耐熱ガラス部材10から成る封止部材が設けられ,内側保護管2の端部には,耐熱ガラスや耐熱性セラミックスから成る封止部材8が設けられている。

請求項（抜粋）：

窒化珪素及びサイアロンから選択されるセラミックスから成る内側保護管,前記内側保護管を内包した状態で前記内側保護管の外側に設けられたMoをベースとするサーメットから成る外側保護管又は皮膜の外側保護手段,前記内側保護管内の先端部で結合された測温部を構成する異なる組成の一対のタングステン-レニウム合金製素線,前記内側保護管と前記外側保護手段との内部で前記素線を内包した状態で充填された窒化ケイ素を主成分とする多孔部材,及び前記外側保護手段の端部に設けられた前記外側保護手段内を密封する第1封止部材,から成る高温測温用セラミック熱電対。

IPC (5件)：

G01K 7/02 , G01K 1/08 , H01L 35/02 , H01L 35/20 , H01L 35/32

FI (5件)：

G01K 7/02 C , G01K 1/08 P , H01L 35/02 , H01L 35/20 , H01L 35/32 A

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