特許
J-GLOBAL ID：200903085971407914
インプリント・リソグラフィ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
浅村 皓
, 浅村 肇
, 白江 克則
, 吉田 裕
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-149099
公開番号（公開出願番号）：特開2006-339644
出願日： 2006年05月30日
公開日（公表日）： 2006年12月14日
要約：
【課題】連続する層の間の位置調整を高い精度で実施することができるインプリント・リソグラフィ装置の提供。【解決手段】基板を保持するように構成された基板テーブルと、インプリント・テンプレートを保持するように構成されたテンプレート・ホルダと、位置調整用センサとを有するインプリント・リソグラフィ装置であって、インプリント・テンプレート又はテンプレート・ホルダが、基板テーブル又は基板にインプリントされてインプリント位置調整用マークを形成するように構成されたテンプレート位置調整用マークを有し、インプリント・テンプレートが機能パターンを有し、テンプレート位置調整用マーク及び機能パターンが既知の空間関係を有し、位置調整用センサが、前記インプリント位置調整用マークの位置を決定するように構成されているインプリント・リソグラフィ装置。【選択図】図4
請求項（抜粋）：
基板を保持するように構成された基板テーブルと、インプリント・テンプレートを保持するように構成されたテンプレート・ホルダと、位置調整用センサとを有するインプリント・リソグラフィ装置において、
前記インプリント・テンプレート又は前記テンプレート・ホルダが、前記基板テーブル又は前記基板にインプリントされてインプリント位置調整用マークを形成するように構成されたテンプレート位置調整用マークを有し、
前記インプリント・テンプレートが機能パターンを有し、
前記テンプレート位置調整用マーク及び前記機能パターンが既知の空間関係を有し、
前記位置調整用センサが、前記インプリント位置調整用マークの位置を決定するように構成されているインプリント・リソグラフィ装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (2件)：
引用特許：
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