特許
J-GLOBAL ID:200903085982778060

感光性導電ペーストおよび電極の製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-078197
公開番号(公開出願番号):特開平10-273338
出願日: 1997年03月28日
公開日(公表日): 1998年10月13日
要約:
【要約】【課題】微細パターンの形成が可能で、かつセラミックスおよびガラス基板に対して薄膜で、接着強度が高く、低抵抗の電極パターンを与えるのに好適な感光性導電ペーストを提供する。【解決手段】導電性粉末、ガラスフリット、および感光性有機成分を含有する感光性導電ペーストであって、該ガラスフリットのガラス転移点が400〜500°Cおよびガラス軟化点が450〜550°C、粒径が平均粒子径0.5〜1.4μm、90%粒子径1〜3μmおよびトップサイズ4.5μm以下であり、かつ50〜400°Cの熱膨張係数α50400が75〜90×10-7/°Kであることを特徴とする感光性導電ペースト。
請求項(抜粋):
導電性粉末、ガラスフリット、および感光性有機成分を含有する感光性導電ペーストであって、該ガラスフリットのガラス転移点が400〜500°Cおよびガラス軟化点が450〜550°C、粒径が平均粒子径0.5〜1.4μm、90%粒子径1〜3μmおよびトップサイズ4.5μm以下であり、かつ50〜400°Cの熱膨張係数α50400が75〜90×10-7/°Kであることを特徴とする感光性導電ペースト。
IPC (7件):
C03C 8/18 ,  C03C 3/066 ,  C04B 41/88 ,  C23C 24/08 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/004 506 ,  H01J 9/02
FI (7件):
C03C 8/18 ,  C03C 3/066 ,  C04B 41/88 C ,  C23C 24/08 C ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/004 506 ,  H01J 9/02 F

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