特許

J-GLOBAL ID：200903085986483005

膜の平坦化方法

発明者： 秋月 誠 ,  平瀬 征基 ,  渡辺 裕之
出願人/特許権者： 三洋電機株式会社
代理人 (1件)： 岡田 敬
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-138945
公開番号（公開出願番号）：特開平8-008231
出願日： 1994年06月21日
公開日（公表日）： 1996年01月12日
要約：

【要約】【目的】 有機SOG膜の表面をエッチング速度の低下を軽減しつつ均一にエッチングすること。【構成】 平坦化すべき膜が、有機SOG膜の場合は、CF4等の炭素系ガスによりエッチング速度を早め、炭素系ガスと有機SOG膜の有機成分との反応によって生じたポリマーをAr等の不活性ガスで除去する。これを交互に繰り返すことにより、エッチング速度の低下を軽減しつつ有機SOG膜の表面を均一にエッチングできる。

請求項（抜粋）：

形成された膜の上面を不活性ガスを使用してエッチングすることによって平坦化したことを特徴とする膜の平坦化方法。

IPC (4件)：

H01L 21/3065 ,  C23F 1/00 ,  C23F 1/12 ,  H01L 21/316

FI (2件)：

H01L 21/302 L ,  H01L 21/302 F