特許

J-GLOBAL ID：200903085987504294

ボンディング用ヒータ

発明者： 服部 満
出願人/特許権者： 日本碍子株式会社
代理人 (1件)： 渡邉 一平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-032670
公開番号（公開出願番号）：特開2000-231978
出願日： 1999年02月10日
公開日（公表日）： 2000年08月22日
要約：

【要約】【課題】 ヒータの熱変形、破損および酸化劣化を防止し、長寿命であるとともに、冷却時におけるヒータの加熱面の温度分布の不均一を低減することができるボンディング用ヒータを提供する。【解決手段】 発熱体12が埋設されたヒータ部14と、ヒータ部14に一体的に結合してヒータ部14を固定するホルダー部15とを備えたセラミック基材2からなるボンディング用ヒータ1である。ヒータ部14の加熱面17側とホルダー部15の冷却面18側の間に、加熱面17の面積が小さくなるように溝部16を形成する。

請求項（抜粋）：

発熱体が埋設されたヒータ部と、該ヒータ部に一体的に結合して該ヒータ部を固定するホルダー部とを備えたセラミック基材からなるボンディング用ヒータであって、該ヒータ部の加熱面側と該ホルダー部の冷却面側の間に、加熱面の面積が小さくなるように溝部を形成したことを特徴とするボンディング用ヒータ。

IPC (2件)：

H05B 3/20 328 ,  H05B 3/14

FI (2件)：

H05B 3/20 328 ,  H05B 3/14 B

Fターム (40件)：

3K034AA02 ,  3K034AA08 ,  3K034AA10 ,  3K034AA22 ,  3K034AA34 ,  3K034BB04 ,  3K034BB06 ,  3K034BB14 ,  3K034BC12 ,  3K034BC29 ,  3K034CA02 ,  3K034CA03 ,  3K034CA11 ,  3K034CA26 ,  3K034CA32 ,  3K034HA01 ,  3K034HA10 ,  3K092PP09 ,  3K092QA05 ,  3K092QB02 ,  3K092QB17 ,  3K092QB45 ,  3K092QB71 ,  3K092QB76 ,  3K092QC05 ,  3K092QC06 ,  3K092QC07 ,  3K092QC25 ,  3K092QC42 ,  3K092QC52 ,  3K092RF03 ,  3K092RF11 ,  3K092RF17 ,  3K092RF22 ,  3K092UB04 ,  3K092VV09 ,  3K092VV22 ,  3K092VV26 ,  3K092VV31 ,  3K092VV34