特許

J-GLOBAL ID：200903085989293827

カラー液晶表示用基板

発明者： 根本 忠志 ,  好本 信行 ,  近藤 嘉一
出願人/特許権者： 東洋鋼鈑株式会社
代理人 (1件)： 小林 正
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-247111
公開番号（公開出願番号）：特開平6-067186
出願日： 1991年06月21日
公開日（公表日）： 1994年03月11日
要約：

【要約】【目的】 カラーフィルターを形成した透明基板上にエッチング性がすぐれ、低抵抗の透明導電膜を有するカラー液晶表示用基板を提供する。【構成】 カラーフィルターを形成した透明基板上に酸化すずを含む酸化インジウムの透明導電膜の酸化インジウムの基板に対する平行な結晶面(211)、(222)および(400)面のそれぞれのX線回折強度I(211)、I(222)およびI(400)の関係が、I(400)/I(211)=0.5〜2.5およびI(400)/I(222)=0.1〜2.5であり、キャリヤー密度は、5×1020/cm3以上である透明導電膜を有するカラー液晶表示用基板。

請求項（抜粋）：

カラーフィルターを形成した透明基板上にスパッタリング法により成膜した酸化すずを1〜25重量%含む酸化インジウム膜の酸化インジウムの基板に対する平行な結晶面(211)、(222)および(400)面のそれぞれのX線回折強度I(211),I(222)およびI(400)の関係が、I(400)/I(211)=0.5〜2.5およびI(400)/I(222)=0.1〜2.5で、キャリヤ密度は、5×1020/cm3以上である透明導電膜を有することを特徴とするカラー液晶表示用基板。

IPC (2件)：

G02F 1/1343 ,  G02F 1/1335 500

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 特開平3-010066