特許
J-GLOBAL ID：200903085991127888
空間光変調装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
永井 利和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-317647
公開番号（公開出願番号）：特開平7-209665
出願日： 1994年11月28日
公開日（公表日）： 1995年08月11日
要約：
【要約】【目的】 駆動電極層1,8の間に、光導電体層2と、絶縁体3で区分された多数の画素電極4を配設した画素電極層5と、誘電体反射層6と、液晶層7を積層させた空間光変調装置において、リフトオフ法による画素電極層5の形成工程で発生する凹凸が誘電体反射層6の平坦度を損なわせて反射・変調機能が低下することを防止する。【構成】 画素電極層5と誘電体反射層6の間に塗布型ケイ素化合物等の平坦化層21を介装させる。平坦化層21で平坦化された表面に誘電体反射層6を均一な層厚で成膜できるため、読出し光FBの反射率を向上させると共に、誘電体反射層6の欠陥に起因したコントラストや解像度の劣化を防止できる。また、平坦化層21と画素電極層5の間に絶縁膜を介在させて、平坦層21の不完全なアニールが余儀なくされる場合にも影響を受けない装置を実現する。
請求項（抜粋）：
透明電極又は光導電体自体の低抵抗層で構成した第1駆動電極層と、光導電体層と、絶縁体で区分された多数の画素電極を配設した画素電極層と、誘電体反射層と、液晶層と、透明電極で構成した第2駆動電極層を順に積層させた積層構造を有し、前記の各駆動電極層間に交番電圧を印加した状態で、前記第1駆動電極層へ入射する書込み光に基づいて、前記第2駆動電極層へ入射する読出し光を変調して反射させる空間光変調装置において、前記画素電極層と誘電体反射層の間に誘電性物質からなる平坦化層を設けたことを特徴とする空間光変調装置。
IPC (2件)：
G02F 1/135
, G02F 1/1333 505
