特許
J-GLOBAL ID:200903086004722679

直読式線量計

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 山本 秀策
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平3-165849
公開番号(公開出願番号):特開平5-180948
出願日: 1991年07月05日
公開日(公表日): 1993年07月23日
要約:
【要約】【構成】本発明は同一シリコン基板に集積され、それぞれがバイアスモード及びテストモードで動作可能な一対の絶縁ゲート電界効果トランジスタを有する放射線線量計に関する。テストモード期間に、トランジスタの各々をバイアスする手段が設けられているので、トランジスタの一方が他方よりも電離放射線に対してより感度がよくなる。テストモード期間に、放射線線量を表す閾値電圧の差を測定する手段が設けられている。トランジスタをバイアスモードとテストモードとに連続して切り換える手段が設けられている。テストモードのトランジスタの動作時間はバイアスモードのトランジスタの動作時間に比べて短い。【効果】閾値電圧変動を小さくすることができるので安定性が良好である。連続読み取り及び再ゼロ調整が可能である。
請求項(抜粋):
同一のシリコン基板に集積されており、ぞれぞれがバイアスモード及びテストモードにおいて動作することができる一対の絶縁ゲート電界効果トランジスタ、該バイアスモード期間に、該トランジスタの一方が該トランジスタの他方よりも電離放射線に対してより感度が良くなるように各々の該トランジスタをバイアスする手段、該テストモード期間に、放射線線量を示す該トランジスタの閾値電圧の差を決定する手段、及び該トランジスタを該バイアスモードと該テストモードとに連続的に切り換える手段、を備えており、該テストモード中の該トランジスタの動作時間は該バイアスモード中の該トランジスタの動作時間に比べて短い、放射線線量計。
IPC (2件):
G01T 1/24 ,  H01L 31/09
引用特許:
審査官引用 (2件)
  • 特開昭52-143088
  • 特開昭52-143087

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