特許
J-GLOBAL ID：200903086007750088
圧電振動片の製造方法、圧電デバイスの製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伊藤 信和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-247385
公開番号（公開出願番号）：特開2009-081521
出願日： 2007年09月25日
公開日（公表日）： 2009年04月16日
要約：
【課題】 エッチングにかかる時間の短縮、音叉型圧電振動片の精度の向上、さらに圧電ウエハから音叉型圧電振動片が衝撃で外れてしまわないようにすることを可能とする。【解決手段】 圧電ウエハ(10)の表裏面に金属膜を形成する工程(S111)と、この金属膜にフォトレジスト層を形成する工程(S112)と、露光により圧電振動片の外枠のフォトレジスト層を除去し金属膜をエッチングする第1金属膜エッチング工程(S113〜S114)と、金属膜が除去された圧電振動片の外枠を、圧電ウエハの表裏が貫通しない範囲でエッチングを行う第1圧電エッチング工程(S115)と、露光により第1溝部のフォトレジスト層を除去し金属膜をエッチングする第2金属膜エッチング工程(S118)と、第1圧電エッチング工程で貫通していない外枠を貫通するようにエッチングするとともに第1溝部をエッチングする第2圧電エッチング工程(S119)と、を備える。【選択図】図4
請求項（抜粋）：
基部とこの基部から突出して形成され第1溝部を有する少なくとも一対の振動腕とを有する圧電振動片の製造方法であって、
圧電ウエハの表裏面に金属膜を形成する工程と、
この金属膜にフォトレジスト層を形成する工程と、
露光により前記圧電振動片の外枠のフォトレジスト層を除去し、前記金属膜をエッチングする第1金属膜エッチング工程と、
前記金属膜が除去された前記圧電振動片の外枠を、前記圧電ウエハの表裏が貫通しない範囲でエッチングを行う第1圧電エッチング工程と、
露光により前記第1溝部のフォトレジスト層を除去し、前記金属膜をエッチングする第2金属膜エッチング工程と、
前記第1圧電エッチング工程で貫通していない外枠を貫通するようにエッチングするとともに前記第1溝部をエッチングする第2圧電エッチング工程と、
を備えることを特徴とする圧電振動片の製造方法。
IPC (7件)：
H03H 3/02
, H01L 41/22
, H01L 41/09
, H01L 41/18
, H01L 41/08
, H03H 9/19
, H03H 9/215
H03H3/02 D
, H01L41/22 Z
, H01L41/08 C
, H01L41/08 L
, H01L41/18 101A
, H01L41/08 Z
, H03H9/19 J
, H03H9/215
出願人引用 (9件)
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審査官引用 (8件)
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