特許

J-GLOBAL ID：200903086015770497

感光性厚膜誘電体ペースト組成物、およびそれを使用して絶縁層を作製するための方法

発明者： 武藤 勉
出願人/特許権者： イー・アイ・デュポン・ドウ・ヌムール・アンド・カンパニー
代理人 (2件)： 谷 義一 ,  阿部 和夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-102207
公開番号（公開出願番号）：特開2006-313324
出願日： 2006年04月03日
公開日（公表日）： 2006年11月16日
要約：

【課題】化学線で露光すると湿式現像できる感光性厚膜誘電体ペースト組成物を提供する。【解決手段】450°Cを超えて600°Cまでの焼成温度より0°から40°C低いガラス軟化点を有するガラスフリット;有機ポリマー結合剤;光開始剤;光硬化性モノマー;および有機溶媒を含み、組成物が化学線で露光すると湿式現像できる感光性厚膜誘電体ペースト組成物を開示する。この組成物を使用した絶縁層の形成方法も提供する。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

感光性厚膜誘電体ペースト組成物であって、 (a)450°Cを超えて600°Cまでの焼成温度より0°から40°C低いガラス軟化点を有するガラスフリットと、 (b)有機ポリマー結合剤と、 (c)光開始剤と、 (d)光硬化性モノマーと、 (e)有機溶媒と を含み、化学線で露光すると湿式現像できることを特徴とする組成物。

IPC (5件)：

G03F 7/004 ,  G03F 7/32 ,  G03F 7/40 ,  H01J 11/02 ,  C03C 8/10

FI (5件)：

G03F7/004 501 ,  G03F7/32 ,  G03F7/40 521 ,  H01J11/02 B ,  C03C8/10

Fターム (108件)：

2H025AA03 ,  2H025AA18 ,  2H025AA20 ,  2H025AB17 ,  2H025AB20 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BC13 ,  2H025BC42 ,  2H025CA00 ,  2H025CB00 ,  2H025CC03 ,  2H025CC08 ,  2H025CC20 ,  2H025DA19 ,  2H025FA17 ,  2H025FA29 ,  2H096AA27 ,  2H096AA30 ,  2H096BA05 ,  2H096EA02 ,  2H096GA09 ,  2H096HA01 ,  4G062AA09 ,  4G062BB04 ,  4G062CC10 ,  4G062DA03 ,  4G062DA04 ,  4G062DB03 ,  4G062DC03 ,  4G062DD01 ,  4G062DE01 ,  4G062DE04 ,  4G062DF06 ,  4G062EA01 ,  4G062EB01 ,  4G062EC01 ,  4G062ED01 ,  4G062EE01 ,  4G062EE02 ,  4G062EF01 ,  4G062EG01 ,  4G062FA01 ,  4G062FA10 ,  4G062FB01 ,  4G062FC01 ,  4G062FD01 ,  4G062FE01 ,  4G062FF01 ,  4G062FG01 ,  4G062FH01 ,  4G062FJ01 ,  4G062FK01 ,  4G062FL01 ,  4G062GA01 ,  4G062GA06 ,  4G062GB01 ,  4G062GC01 ,  4G062GD01 ,  4G062GE01 ,  4G062HH01 ,  4G062HH03 ,  4G062HH05 ,  4G062HH07 ,  4G062HH09 ,  4G062HH11 ,  4G062HH13 ,  4G062HH15 ,  4G062HH17 ,  4G062HH20 ,  4G062JJ01 ,  4G062JJ03 ,  4G062JJ05 ,  4G062JJ07 ,  4G062JJ10 ,  4G062KK01 ,  4G062KK03 ,  4G062KK05 ,  4G062KK07 ,  4G062KK10 ,  4G062NN26 ,  4G062PP13 ,  4G062PP14 ,  5C040FA10 ,  5C040GD07 ,  5C040GD09 ,  5C040GF18 ,  5C040GF19 ,  5C040JA02 ,  5C040JA09 ,  5C040JA15 ,  5C040JA22 ,  5C040KA08 ,  5C040KA09 ,  5C040KA14 ,  5C040KA16 ,  5C040KA17 ,  5C040KB02 ,  5C040KB06 ,  5C040KB19 ,  5C040KB24 ,  5C040KB26 ,  5C040KB28 ,  5C040KB29 ,  5C040LA12 ,  5C040LA17 ,  5C040MA23 ,  5C040MA26

引用特許：

出願人引用 (19件)

• 米国特許第5,985,460号明細書
  
• 米国特許第3,145,104号明細書
  
• 米国特許第3,427,161号明細書
  
• 米国特許第3,479,185号明細書
  
• 米国特許第3,549,367号明細書
  
• 米国特許第4,162,162号明細書
  
• 米国特許第3,684,771号明細書
  
• 米国特許第3,788,998号明細書
  
• 米国特許第4,070,388号明細書
  
• 米国特許第4,032,698号明細書
  
• 英国特許第1,339,930号明細書
  
• 米国特許第3,380,831号明細書
  
• 米国特許第2,927,022号明細書
  
• 米国特許第2,760,863号明細書
  
• 米国特許第2,850,445号明細書
  
• 米国特許第2,875,047号明細書
  
• 米国特許第3,097,096号明細書
  
• 米国特許第3,074,974号明細書
  
• 米国特許第3,097,097号明細書