特許
J-GLOBAL ID：200903086016224658
超音波洗浄方法およびその洗浄装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-112531
公開番号（公開出願番号）：特開平10-296200
出願日： 1997年04月30日
公開日（公表日）： 1998年11月10日
要約：
【要約】【課題】 この発明は界面活性剤を含む洗浄液によって液晶用ガラス基板を超音波洗浄することができる洗浄装置を提供することを目的とする。【解決手段】 所定方向に搬送される液晶用ガラス基板22を洗浄するための洗浄装置において、上面が開口し内部に第1の洗浄液L1 が供給される発振容器11と、この発振容器の底部に設けられ内部に供給された上記第1の洗浄液に振動板を介して超音波振動を付与する超音波振動子17と、超音波振動が付与されて発振容器内の上記第1の洗浄液の水平面から押し上げられた部分に下面が接触する状態で上記被洗浄物を搬送する搬送機構21と、この搬送機構によって搬送される上記液晶用ガラス基板22の上面に界面活性剤を含む第2の洗浄液L2 を吹き付けるノズル体24とを具備したことを特徴とする。
請求項（抜粋）：
所定方向に搬送される被洗浄物を洗浄するための洗浄方法において、上面が開口した発振容器内に第1の洗浄液を供給し、この第1の洗浄液に超音波振動を付与することで、その第1の洗浄液を上記発振容器内の上記第1の洗浄液の水平面から押し上げ、押し上げられた第1の洗浄液に下面を接触させて上記被洗浄物を搬送するとともに、搬送される被洗浄物の上面に界面活性剤を含む第2の洗浄液を噴射することを特徴とする超音波洗浄方法。
IPC (4件)：
B08B 3/12
, B08B 3/02
, B08B 3/08
, H01L 21/304 341
B08B 3/12 Z
, B08B 3/02 C
, B08B 3/08 Z
, H01L 21/304 341 N
